崗位職責:
1、開發和優化射頻器件所需的T型柵極工藝,包括勻膠/曝光/顯影工步等
2、優化光刻工藝參數,提高圖形質量、線條均勻性,確保金屬剝離無異常
3、與設備工程師密切合作,確保勻膠/曝光/顯影設備的工藝性能滿足要求
4、協助設備工程師制定設備工藝參數,參與設備驗證和工藝驗證
5、分析和解決柵極工藝相關的良率問題
6、與其他工藝模塊工程師密切合作,確保光刻工藝與整體工藝的兼容性
7、領導安排的其他事宜;
崗位要求:
1、本科及以上學歷,微電子學、電子工程、材料科學與工程、物理、化學工程、光學工程或相關理工科專業。
2、扎實的電子束光刻物理和化學知識,熟悉各種光刻工藝技術
3、了解砷化鎵射頻器件的工作原理和性能要求。
4、熟悉常見的光刻工藝分析和表征技術(如OVL、CD-SEM、FIB等)
具備基本的射頻測試知識